圖:香港首條超高真空「第三代半導(dǎo)體氮化鎵外延片中試線」,明年可望實現(xiàn)通線。
【大公報訊】記者郭如佳報道:香港科技園與麻省光子技術(shù)合作的香港首條超高真空「第三代半導(dǎo)體氮化鎵外延片中試線」正在推進,據(jù)了解,該項目明年可望實現(xiàn)通線,為香港半導(dǎo)體製造產(chǎn)業(yè)鏈提供關(guān)鍵的技術(shù)支撐。這對推動香港微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展,進一步完善本港創(chuàng)科生態(tài)圈有重要意義。
在去年的啟動儀式上,麻省光子技術(shù)(香港)有限公司行政總裁廖翊韜表示,公司計劃於科學(xué)園設(shè)立全港首個第三代半導(dǎo)體氮化鎵外延工藝全球研發(fā)中心,以及於創(chuàng)新園開設(shè)首條超高真空量產(chǎn)型氮化鎵外延片中試線,預(yù)計將在香港投資至少二億港元及設(shè)立研發(fā)團隊,帶動整個第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈布局。
廖翊韜提到,公司計劃入駐香港科學(xué)園微電子中心,建設(shè)香港首條八吋氮化鎵外延片的研發(fā)中試產(chǎn)線,希望通過新產(chǎn)品的中試研發(fā)和孵化,建立前沿、完整的超高真空氮化鎵外延技術(shù)和產(chǎn)品專利包,三年內(nèi)完成中試並啟動在香港的氮化鎵外延量產(chǎn)的產(chǎn)線建設(shè),實現(xiàn)年產(chǎn)一萬片八吋氮化鎵晶圓產(chǎn)能,將香港製造的外延片產(chǎn)品推向全球市場。
在香港特別行政區(qū)政府公布的《香港創(chuàng)新科技發(fā)展藍圖》,其中一個發(fā)展方向為完善創(chuàng)科生態(tài)圈,推進香港「新型工業(yè)化」,而政府會大力支持先進製造產(chǎn)業(yè),包括半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在港設(shè)立或擴展先進製造生產(chǎn)線。
據(jù)創(chuàng)科局局長孫東介紹,特區(qū)政府正以產(chǎn)業(yè)導(dǎo)向為原則,積極推進微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展。香港將設(shè)立碳化矽和氮化鎵兩條中試線,協(xié)助初創(chuàng)、中小企業(yè)進行試產(chǎn)、測試和認證,促進產(chǎn)、學(xué)、研在第三代半導(dǎo)體核心技術(shù)上的合作。